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JIB-4700F 雙束加工觀察系統(tǒng)

隨著先進(jìn)材料構(gòu)造的微細(xì)化和制造過程的復(fù)雜化，形貌觀察、元素分析和晶體分析等的評(píng)估技術(shù)也對(duì)分辨率和精度有了更高的要求。為了滿足這些需求，JEOL推出新一代雙束加工觀察系統(tǒng)JIB-4700F。該設(shè)備的SEM鏡筒中采用了超級(jí)混合圓錐形物鏡、GB模式和in-lens檢測(cè)器系統(tǒng)，在1kV低加速電壓下,實(shí)現(xiàn)了1.6nm的保證分辨率,與最大能獲得300nA探針電流的浸沒式肖特基電子槍組合，可以進(jìn)行高分辨率觀察和高速分析。

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